首先把離子平衡測量板瞬間接地，以消除板上的靜電荷。然后，按下灰色的歸零（ZERO）按掣，這時(shí)，會有兩下“Beep”聲響起，顯示板上的“HI”字會閃動，表示儀器在離子平衡測量模式。

把儀器向著沒有離子產(chǎn)生和靜電場的方向，或者指向天空，顯示結(jié)果應(yīng)為0V。若果不是，請按下灰色的返零（ZERO）按掣，把背景結(jié)果歸零。

然后，根據(jù)ESDStandard STM3.1-2000的標(biāo)準(zhǔn)，對不同的離子產(chǎn)生器，確定測試距離。把儀器固定在測距位置，測量離子產(chǎn)生器的離子平衡，按下綠色的凍結(jié)顯示（HOLD）按掣，把結(jié)果保持，然后取出作記錄。（注意：若數(shù)值超出可測范圍>200V ），則會響起連續(xù)的“Beep”聲，顯示數(shù)值會閃動，這時(shí)，應(yīng)停止測量，否則會損壞內(nèi)置的感應(yīng)器。）

顯示數(shù)值以（+）或（-）指測量對象的離子平衡的極性偏向。在圖形顯示中，紅色表示正偏向，藍(lán)色表示負(fù)偏向。每一單位為10V。

再次按下紅色的電源（POWER）按掣，會關(guān)掉儀器。或者，在打開儀器5分鐘后，它會響起5下“Beep”聲，然后自動關(guān)掉。（注意：若儀器在保持顯示狀態(tài)，則關(guān)掉儀器不會解除保持顯示。請按下綠色的保持顯示（HOLD）按掣解除保持顯示。）

若要確保離子平衡測量的可靠性，請定期測試離子平衡測量板的絕緣性能?？稍跍y量板上加上1000V靜電荷（可使用感應(yīng)帶電方法），然后觀察顯示數(shù)值的下跌速度。絕緣性能變差，則顯示數(shù)值的下跌速度會增快。離子平衡測量板的絕緣性能應(yīng)在1013Ω以上。